Iompróir Wafer Sic Cothrománach

Déileálann leathsheoltóraIompróir Wafer Sic CothrománachTá leáphointe an -ard ag an mbád (thart ar 2700 ° C), a chuireann ar chumas anIompróir Wafer Sic Cothrománach/Bád chun oibriú go cobhsaí i dtimpeallachtaí ardteochta gan dífhoirmiú nó díghrádú. Tá an ghné seo thar a bheith tábhachtach sa phróiseas déantúsaíochta leathsheoltóra, go háirithe i bpróisis mar anáil ardteochta nó sil-leagan ceimiceach gaile (CVD).

Tá anIompróir sliseog sic chothrománach/Tá na róil seo a leanas go sonrach ag bád sa phróiseas chun iompróirí sliseog a iompar:

Bearradh agus tacaíocht sliseog sileacain: Úsáidtear an bád sliseog Sic chothrománach go príomha chun sliseoga sileacain a iompar agus a thacú le linn déantúsaíochta leathsheoltóra. Féadann sé il -sliseoga sileacain a shocrú go daingean le chéile chun a chinntiú go bhfanann siad i riocht maith agus i gcobhsaíocht i rith an phróisis próiseála ar fad.

Teas agus fuarú aonfhoirmeach: Mar gheall ar sheoltacht ard teirmeach SIC, is féidir leis an mbád sliseog teas a dháileadh go héifeachtach ar gach sliseog sileacain. Cuidíonn sé seo le téamh aonfhoirmeach nó fuarú sliseoga sileacain a bhaint amach le linn próiseála ardteochta, ag cinntiú comhsheasmhacht agus iontaofacht an phróisis próiseála.

Cosc a chur ar éilliú: Cuireann cobhsaíocht cheimiceach SiC ar a chumas feidhmiú go maith i dtimpeallachtaí ardteochta agus gáis chreimneach, rud a laghdóidh nochtadh na sliseog sileacain d'ábhar salaithe nó d'imoibritheoirí, rud a chinntíonn íonacht agus cáilíocht na sliseog sileacain.

Go deimhin, is féidir leis an mBád Cothrománach SIC an ról thuas a imirt mar gheall ar a thréithe táirge uathúla:

Cobhsaíocht cheimiceach den scoth: Tá friotaíocht creimeadh den scoth ag ábhar SiC ar éagsúlacht meáin cheimiceacha. Sa phróiseas próiseála gáis nó leachtanna creimneach, is féidir le SiC Wafer Boat seasamh in aghaidh go héifeachtach le creimeadh ceimiceach agus sliseog sileacain a chosaint ó éilliú nó damáiste.

Seoltacht teirmeach ard: Cuidíonn seoltacht ard teirmeach SIC le teas a dháileadh go cothrom sa phróiseas iompróra agus carnadh teasa a laghdú. Féadann sé seo feabhas a chur ar chruinneas an rialaithe teochta le linn próiseála beachtais agus a chinntiú go mbeidh téamh nó fuaraithe sliseoga sileacain ann.

Comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal: Ciallaíonn comhéifeacht leathnú íseal teirmeach ábhar SiC go bhfuil athrú tríthoiseach SiC Wafer Boat an-bheag le linn athruithe teochta. Cuidíonn sé seo le cobhsaíocht tríthoiseach a chothabháil le linn próiseála ardteochta agus cuireann sé cosc ​​​​ar dhífhoirmiú nó dí-áitiú suíomhach sliseog sileacain de bharr leathnú teirmeach.

Airíonna fisiceacha bunúsacha iompróra sliseog sic chothrománach:

Déan comparáid idir siopa táirgthe leathsheoltóra:

Forbhreathnú ar an slabhra tionscal epitaxy sliseanna leathsheoltóra: