Tús an tionscail

Tá sé oiriúnach ciorcaid chomhtháite nó feistí leathsheoltóra a thógáil ar chiseal bonn criostalach foirfe. Tá sé mar aidhm ag an bpróiseas epitaxy (EPI) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ciseal breá aonchriostalach a thaisceadh, de ghnáth thart ar 0.5 go 20 miocrón, ar fhoshraith aonchriostalach. Is céim thábhachtach é an próiseas epitaxy maidir le feistí leathsheoltóra a mhonarú, go háirithe i ndéantúsaíocht sliseog sileacain.

Is é an príomhdhifríocht idir sil -leagan epitaxy agus sil -leagan adamhach (ALD) ná a meicníochtaí fáis scannáin agus a gcoinníollacha oibriúcháin. Tagraíonn Epitaxy don phróiseas chun scannán tanaí criostalach a fhás ar fhoshraith chriostalach le caidreamh treoshuímh ar leith, ag cothabháil an struchtúir chriostal chéanna nó den chineál céanna. I gcodarsnacht leis sin, is teicníc sil -leagain é ALD a bhaineann le foshraith a nochtadh do réamhtheachtaithe ceimiceacha éagsúla i seicheamh chun ciseal adamhach scannán tanaí a dhéanamh ag an am.

Is próiseas é sciath CVD TAC chun sciath dlúth agus durable a chruthú ar fhoshraith (graifít). Is éard atá i gceist leis an modh seo ná TAC a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ag teochtaí arda, agus mar thoradh air sin tá sciath cairbíde tantalum (TAC) le cobhsaíocht theirmeach den scoth agus friotaíocht cheimiceach.

De réir mar a aibíonn an próiseas chomhdhúile sileacain 8-orlach (SiC), tá na monaróirí ag luasghéarú an aistrithe ó 6-orlach go 8-orlach. Le déanaí, d'fhógair ON Semiconductor agus Resonac nuashonruithe ar tháirgeadh SiC 8-orlach.

Tugann an t-alt seo isteach na forbairtí is déanaí in imoibreoir CVD balla te PE1O8 nua-dheartha na cuideachta Iodálach LPE agus a chumas epitaxy aonfhoirmeach 4H-SiC a dhéanamh ar 200mm SiC.

Leis an éileamh méadaitheach ar ábhair SIC i leictreonaic chumhachta, optoelectronics agus réimsí eile, beidh forbairt na teicneolaíochta fáis criostail aonair mar phríomhréimse nuálaíochta eolaíochta agus teicneolaíochta. Mar chroílár an trealaimh fáis criostail aonair SIC, leanfaidh dearadh allamuigh teirmeach ar aghaidh ag fáil aird fhorleathan agus taighde domhain.