Tús an tionscail

Is é prionsabal oibre na foirnéise epitaxial ná ábhair leathsheoltóra a thaisceadh ar fhoshraith faoi theocht ard agus brú ard. Is éard atá i bhfás epitaxial sileacain ná ciseal criostail a fhás leis an treoshuíomh criostail céanna leis an tsubstráit agus tiús éagsúla ar fhoshraith criostail aonair sileacain le treoshuíomh criostail áirithe. Tugann an t-alt seo isteach go príomha na modhanna fáis epitaxial sileacain: epitaxy chéim gal agus epitaxy chéim leachtach.

Úsáidtear sil -leagan gaile ceimiceach (CVD) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra chun ábhair scannán tanaí a thaisceadh sa seomra, lena n -áirítear SiO2, Sin, etc., agus áirítear le cineálacha a úsáidtear go coitianta PECVD agus LPCVD. Tríd an gcineál gáis teochta, brú agus imoibriúcháin a choigeartú, baineann CVD íonacht ard, aonfhoirmeacht agus clúdach maith scannán amach chun riachtanais éagsúla próisis a chomhlíonadh.

Déanann an t-alt seo cur síos go príomha ar na hionchais iarratais leathan a bhaineann le criadóireacht chomhdhúile sileacain. Díríonn sé freisin ar anailís a dhéanamh ar na cúiseanna atá le scoilteanna shintéirithe i criadóireacht chomhdhúile sileacain agus na réitigh chomhfhreagracha.

Is minic a bhíonn fadhbanna cosúil le héifeacht luchtaithe, éifeacht micrea-groove agus éifeacht muirir, a théann i bhfeidhm ar cháilíocht na dtáirgí. I measc na dtuaslagán feabhsúcháin tá dlús plasma a bharrfheabhsú, comhdhéanamh gáis imoibriúcháin a choigeartú, éifeachtúlacht an chórais folúis a fheabhsú, leagan amach liteagrafaíochta réasúnta a dhearadh, agus ábhair chuí masc eitseáil agus coinníollacha próisis a roghnú.

Is é sintéiriú te an phríomh-mhodh chun criadóireacht ardfheidhmíochta SIC a ullmhú. Áirítear leis an bpróiseas de shintéiriú te: púdar ard-íonachta SIC a roghnú, brú agus múnlú faoi theocht ard agus brú ard, agus ansin sintéiriú. Tá buntáistí íonachta ard agus dlús ard ag criadóireacht SIC a ullmhaítear leis an modh seo, agus úsáidtear go forleathan iad chun dioscaí agus trealamh cóireála teasa a mheilt le haghaidh próiseála sliseog.