Tús an tionscail

I bhfás criostail aonair SIC agus ALN ag baint úsáide as an modh iompair gaile fhisiciúil (PVT), tá ról ríthábhachtach ag comhpháirteanna ríthábhachtacha amhail an Crucible, an sealbhóir síl, agus an fáinne treorach. Mar a léirítear i bhFigiúr 2 [1], le linn an phróisis PVT, tá an criostail síl suite sa réigiún teochta íochtarach, agus tá an t -amhábhar SIC nochta do theochtaí níos airde (os cionn 2400 ℃).

Tá go leor lochtanna ag foshraitheanna cairbíde sileacain agus ní féidir iad a phróiseáil go díreach. Ní mór scannán tanaí criostail aonair a fhás orthu trí phróiseas eipiciúil chun sliseoga sliseanna a dhéanamh. Is é an scannán tanaí seo an ciseal eipiciúil. Baintear amach beagnach gach feiste cairbíde sileacain ar ábhair eipideacha. Is iad na hábhair aonchineálacha aonchineálacha sileacain sileacain an bunús le haghaidh forbairt feistí cairbíde sileacain. Cinneann feidhmíocht na n -ábhar epitaxial go díreach réadú feidhmíocht na bhfeistí cairbíde sileacain.

Tá Silicon Carbide ag athmhúnlú an tionscail leathsheoltóra le haghaidh feidhmchlár cumhachta agus ardteochta, lena n-airíonna cuimsitheacha, ó fhoshraitheanna epitaxial go bratuithe cosanta chuig feithiclí leictreacha agus córais fuinnimh in-athnuaite.

Ard-íonacht: Tá íonacht an-ard ag an gciseal epitaxial sileacain a fhástar trí thaisceadh gaile ceimiceach (CVD), tá maoile dromchla níos fearr agus dlús lochtanna níos ísle ná na sliseoga traidisiúnta.

Tá cairbíd sileacain sholadach (SIC) anois ar cheann de na príomhábhair i ndéantúsaíocht leathsheoltóra mar gheall ar a airíonna fisiceacha uathúla. Seo a leanas anailís ar a bhuntáistí agus ar a luach praiticiúil bunaithe ar a airíonna fisiceacha agus a feidhmchláir shonracha i dtrealamh leathsheoltóra (mar iompróirí sliseog, cinn cithfholctha, fáinní fócais eitseáil, etc.).