CVD TAC Fáinne Treorach Trí-Petal Brataithe

Silicon Carbide Is cineál ábhair chriostal é ábhar foshraithe criostail aonair, a bhaineann le hábhar leathsheoltóra bandgap leathan. Tá na buntáistí a bhaineann le friotaíocht ardvoltais, friotaíocht ardteochta, minicíocht ard, caillteanas íseal, srl. Is ábhar bunúsach é chun gléasanna leictreonacha cumhachta ardchumhachta agus feistí minicíochta raidió micreathonn a ullmhú. Faoi láthair, is iad na príomh -mhodhanna chun criostail SIC a fhás ná iompar gaile fisiciúil (modh PVT), sil -leagan gaile ceimiceach ardteochta (modh HTCVD), modh céim leachtach, etc.

Is teicníc bhunaithe go maith é an modh iompair gaile fhisiciúil (PVT) atá an -oiriúnach do tháirgeadh tionsclaíoch mór -scála. Sa phróiseas seo, tá criostail síolta SIC suite ag barr an bhreogáin, agus cuirtear púdar SIC, ag fónamh mar an t -amhábhar, ag bun an bhreogáin. Faoi na coinníollacha a bhaineann le teocht ard agus brú íseal laistigh de thimpeallacht dhúnta, sublimates púdar SIC. Agus an grádán teochta agus an difríocht chomhchruinnithe á stiúradh aige, bogann na speicis sublimated aníos i dtreo an réigiúin in aice leis an gcriostal síl. Nuair a shroicheann tú stát supersaturated, tarlaíonn athchriostalú, rud a cheadaíonn rialú beacht ar mhéid agus ar chineál sonrach criostail na gcriostal Sic a fhástar.

Freastalaíonn an fáinne treorach CVD TAC trí -threoir peitil ar ilfheidhmeanna ríthábhachtacha. Go príomha, cuireann sé le meicneoirí sreabhach trí shreabhadh an gháis a threorú, ag cinntiú go bhfuil an limistéar fáis criostail nochta d'atmaisféar aonfhoirmeach. Ina theannta sin, scaoileann sé teas go héifeachtach le linn an phróisis fáis criostail SIC. Tríd an grádán teochta cuí a choinneáil, déanann sé barrfheabhsú ar na coinníollacha fáis do chriostail SIC agus maolaíonn sé an baol go dtarlódh lochtanna criostail de bharr dáileadh teochta míchothrom.