Chuck leictreastatach ceirmeach

Déantar próisis táirgthe leathsheoltóra, go háirithe próiseáil sliseog, i dtimpeallacht fholús, agus iompraíonn sliseoga clampála meicniúla iompraíonn 

rioscaí áirithe. Nuair a bhíonn an fórsa dírithe ar an bpointe clampála, is féidir le sliseoga sileacain sobhriste blúirí beaga bídeach a chailliúint, rud a chruthaíonn damáiste tromchúiseach do tháirgeadh sliseog.

Sa chás seo, is rogha níos fearr é an chuck leictreastatach ceirmeach, a shocraíonn an sliseog trí fhórsa leictreastatach. Feidhmíonn an fórsa leictreastatach go cothrom ar an sliseog, mar sin is féidir an sliseog a shocrú go cothrom, ag feabhsú cruinneas an phróisis.

De réir na bpáipéar taighde ábhartha, tá súchán níos láidre ag cuck leictreastatach ceirmeach ná cucks leictreastatach eile. Mar shampla, tá súchán i bhfad níos láidre ag Chuck Leictreastatach Ceirmeach ná an scannán peataí Electrostatic Chuck.

Is iondúil go ndéantar cuck criadóireachta as ábhair cheirmeacha ardfheidhmíochta amhail Al2O3, ALN nó SIC, a bhfuil friotaíocht teasa ard, insliú agus friotaíocht creimthe aige. Ní hamháin go bhfuil cuck ceirmeach scagach cobhsaí ag teochtaí foircneacha, ach cuireann sé cosc ​​go héifeachtach ar r-chuc ceirmeach ó dhíghrádú mar gheall ar imoibrithe ceimiceacha agus eitseáil plasma le linn an phróisis déantúsaíochta.

Rialú teochta: Cumasaíonn an seoltacht ard teirmeach agus airíonna teirmeacha cobhsaí ábhar ceirmeach cuck folúis ceirmeach alúmana chun teocht a rialú go héifeachtach, rud a fhágann go bhfuil an dáileadh teochta ag barrfheabhsú le linn an phróisis.

Inoiriúnaitheacht i bhfolús: Tá cuck leictreastatach ceirmeach oiriúnach do thimpeallachtaí folúis, go háirithe i bpróisis bhrú íseal agus eitseáil ardchruinnithe.

Giniúint íseal na gcáithníní: Tá dromchla réidh ag r-chuc ceirmeach scagach Sic, ar féidir leis éilliú na gcáithníní a laghdú le linn socrú sliseog agus cabhrú le toradh an táirge a fheabhsú.

Iarratas: a úsáidtear go príomha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, i gcuck leictreastatach ceirmeach inscortha a sholáthraíonn suíomh agus cobhsaíocht bheacht, rud atá an -chabhrach do phróisis mhonaraithe próiseála liteagrafaíochta, eitseáil agus próiseála sliseog leathsheoltóra eile. Cinntigh go bhfuil an sliseog slán le linn próiseála agus feabhas a chur ar chaighdeán táirgthe na sliseanna.

Sé leathsheoltóraSiopaí táirgthe ceirmeacha e-chuck: