Chuck i bhfolús

Iarrchán: 

Folús ard -éifeachtúlachta Chuck crafted le haghaidh asaithe beacht agus fosúchán daingean sliseoga agus tinní. Tá sé go maith - oiriúnach do chásanna lena n -áirítear déantúsaíocht leathsheoltóra, gearradh sliseog, próiseáil beachtais, epitaxy ardteochta, eitseáil, agus ionchlannú ian.

Paraiméadair lárnacha:

● Póirseacht inchoigeartaithe (idir 10 - 200μm).
● Tá sé in ann teochtaí ard -ard (suas go ≤1600 ° C) a sheasamh agus friotaíocht turraing teirmeach den scoth a thaispeáint.
● Fholúis asaithe: Is é an caighdeán ná - 90kpa (saincheaptha chun 100kpa a bhaint amach).

● Toisí cupán súchán: is féidir tacú le sliseoga 4/6/8/12 - orlach, agus is féidir an méid tinne a chur in oiriúint de réir riachtanais shonracha.

Ⅰ. Saghas

Úsáideann Veteksemimon Ceirmeach Chuck struchtúr comhcheangailte ceirmeach póiriúil agus fáinne seachtrach miotail. Trí dhearadh pearsantaithe na gcainéal aeir agus na bpiocháin, tuigeann sé go bhfuil fórsa asaithe agus cobhsaíocht ard ann. Tá an Chuck seo feistithe le haghaidh déantúsaíochta leathsheoltóra, gearradh sliseog, próiseáil beachtais, srl. Is féidir leis oibriú i suíomhanna ardteochta agus ardluais agus comhlíonann sé riachtanais chomhoiriúnachta sliseoga/tiubh i méideanna éagsúla.

Ⅱ. Buntáistí Struchtúir agus Buntáistí Ábhar

Leagan Amach Ilchodach Multilayer:

✔ Ciseal dromchla. Is féidir an trastomhas pore a choigeartú (10 - 200μm), a ráthaíonn go n -aistrítear an fórsa asaithe go cothrom go dtí dromchla an tsleasa, rud a choisceann tógáil struis áitiúil.

✔ Maitrís: Comhdhéanta de fhráma miotail an -dochta (cruach dhosmálta nó cóimhiotal alúmanaim) chun tacaíocht struchtúrach agus aerdhíonacht a thairiscint.

✔ Airways agus pores: Is éard atá sna haerbhealaí inmheánacha atá machnamh go beacht ná líonra, mar aon le micropores atá spásáilte go cothrom. Tacaíonn an thus seo le eastóscadh tapa i bhfolús (is féidir le fórsa asaithe teacht suas le - 90kpa) agus scaoileadh láithreach.

Ⅲ . Comparáid idir MaSaintréithe Terial

Comparáid idir airíonna ábhartha

2. Cásanna agus cásanna iarratais

✔ Leathsheoltóra Fabricatio

Fás Epitaxial: Is féidir leis sliseoga SIC a mhaisiú go daingean ag teochtaí arda, rud a chuireann cosc ​​ar na sliseoga a bheith ag teannadh agus ag éirí éillithe.

Liteagrafaíocht agus Eitseáil: Cuireann sé ar chumas suíomh beacht ar ardáin ghluaiseachta ardluais (luasghéarú ≤10g), ag cinntiú cruinneas ailínithe grafach.

✔ Próiseáil Innot

Gearradh agus Meilt: Is féidir leis tinní troma a mhaisiú (mar shampla sapphire agus silicon - tiubh cairbíde), ag laghdú scoilteadh imeall mar gheall ar chreathadh.

✔ Taighde eolaíoch agus teicneolaíochtaí speisialta

Ard -Teocht Annealing: Sileacain Phortach - Is féidir le cupáin shúchán cairbíde oibriú go leanúnach ag 1600 ° C gan dífhoirmiú nó truailliú aerála.

Cumhdach i bhfolús: Le dearadh ard -aeir - déine, is féidir é a chur in oiriúint don timpeallacht chuas PVD/CVD.

3. Seirbhís saincheaptha

✔ Cuirimid saincheapadh ar fáil do mhéid agus do ualach.

✔ Is féidir an stomata agus an t -aerbhealach a bharrfheabhsú chun riachtanais shonracha a chomhlíonadh.

✔ Is féidir é a chur in oiriúint do thimpeallachtaí speisialta.

Ⅳ. Ceisteanna Coitianta:

Conas a bhainfidh cucks folúis chomhoiriúnacht sliseog ilmhéid amach (m.sh. 12/8/6 ")?

C: Cén chaoi a n-oireann cuck amháin isteach i sliseog 12 orlach, 8-orlach agus 6 orlach ag an am céanna? An bhfuil athstruchtúrú fisiciúil riachtanach?

A:Comhoiriúnacht iltoiseach trí aerbhealach oiriúnaitheach agus deighilt stómach:

✔ Rialú stómach dinimiciúil: Déantar an stomata ar dhromchla an sucker a dháileadh i limistéar fáinne, agus tá an ciorcad aeir i gceantair éagsúla á rialú ag comhla seachtrach.

Mar shampla, nuair a bhíonn sliseog 8 orlach á ionsú, ní chuirtear ar chumas ach na pores sa limistéar lárnach agus dúntar na pores seachtracha (chun sceitheadh ​​fórsa asaithe a sheachaint).

✔ Dearadh aerbhealaigh solúbtha: Tá leagan amach modúlach ag an líonra calafoirt a oireann do phróifílí imeall sliseoga de mhéideanna éagsúla chun clúdach aonfhoirmeach asaithe a chinntiú. is Is iad na buntáistí a leanann:

Athsholáthar crua -earraí nialais: Ní gá an cupán súchán a bhaint nó a athsholáthar, trí bhogearraí nó lasc comhla gáis a oiriúnú do mhéideanna éagsúla.

Coigilteas costais: costais athchóirithe trealaimh agus neamhfhónaimh a laghdú, agus solúbthacht líne táirgthe a mhéadú.