Ionad Bailitheoir Cumhdach SIC

Tá ról tábhachtach ag Ionad Bailitheoir Sic Sic Sic Sic Vetek i dtáirgeadh próiseas Semiconducor EPI. Tá sé ar cheann de na príomh -chomhpháirteanna a úsáidtear le haghaidh dáileadh agus rialú gáis i seomra imoibriúcháin eipiciúil.Sciath sicisSciath TACinár monarcha.

Seo a leanas ról an Ionaid Bailitheora Chraotaithe Sic:

● Dáileadh gáis: Úsáidtear Ionad Bailitheoir Cumhdach SIC chun gáis éagsúla a thabhairt isteach sa seomra imoibriúcháin eipiciúil. Tá il -ghéaga agus asraonta ann ar féidir leo gáis éagsúla a dháileadh ar na suíomhanna inmhianaithe chun freastal ar riachtanais fáis eipidíteacha ar leith.

● Gás a rialú. Tá an rialú beacht gáis seo riachtanach chun go n -éireoidh leis an bpróiseas fáis eipiciúil chun an tiúchan gáis agus an ráta sreafa atá ag teastáil a bhaint amach, ag cinntiú cáilíocht agus comhsheasmhacht an scannáin.

● aonfhoirmeacht: Cuidíonn dearadh agus leagan amach an fháinne bailithe gáis lárnach le dáileadh aonfhoirmeach gáis a bhaint amach. Trí chosán agus modh dáileacháin sreafa gáis réasúnta, tá an gás measctha go cothrom sa seomra imoibriúcháin eipiciúil, chun fás aonfhoirmeach an scannáin a bhaint amach.

Agus táirgí epitaxial á ndéanamh, tá ról lárnach ag Ionad Bailitheoir Cumhdach Sic i gcáilíocht, i dtiús agus i n -aonfhoirmeacht an scannáin. Trí dháileadh agus rialú gáis cuí, is féidir leis an Ionad Bailitheora Cumhdach Sic a chinntiú cobhsaíocht agus comhsheasmhacht anPróiseas fáis eipiciúil, chun scannáin epitaxial ardchaighdeáin a fháil.

I gcomparáid le hionad bailitheoirí graifíte, is seoltacht theirmeach feabhsaithe, támh ceimiceach feabhsaithe, agus friotaíocht creimthe níos fearr a fheabhsaíonn Ionad Bailithe Brataithe SIC. Cuireann an sciath sileacain cairbíde go mór le cumas bainistíochta teirmeach an ábhair ghraifít, as a dtiocfaidh aonfhoirmeacht teochta níos fearr agus fás scannán comhsheasmhach i bpróisis eipideacha. Ina theannta sin, soláthraíonn an sciath ciseal cosanta a chuireann creimeadh ceimiceach ar fáil, ag leathnú saolré na gcomhpháirteanna graifíte. Tríd is tríd, anbrataithe le cairbíd sileacainTairgeann ábhar graifíte seoltacht teirmeach níos fearr, táimhe cheimiceach, agus friotaíocht creimthe, ag cinntiú cobhsaíocht fheabhsaithe agus fás scannán ardcháilíochta i bpróisis eipideacha.

Struchtúr Crystal Scannán CVD SIC:

Airíonna fisiceacha bunúsacha sciath SIC CVD

Sé leathsheoltóraIonad Bailitheoir Cumhdach SICSiopa léiriúcháin