Susceptor Brataithe SiC MOCVD

Paraiméadair Theicniúla

CVD STRUCHTÚR CRYSTAL SCANNÁN

Sainmhíniú agus Comhdhéanamh Táirge

Is comhpháirt iompraíonn sliseog préimhe é an VETEK MOCVD Susceptor Brataithe SiC a innealtóireacht go sonrach do phróiseáil epitaxial leathsheoltóirí tríú glúin, mar GaN agus SiC. Comhtháthaíonn an táirge seo airíonna fisiceacha níos fearr dhá ábhar ardfheidhmíochta:

Foshraith Grafite Ard-íonachta: Monaraithe ag baint úsáide as teicneolaíocht brú isostatach chun a chinntiú go bhfuil sláine struchtúrach eisceachtúil, ard-dlúis agus cobhsaíocht phróiseála teirmeach ag an mbunábhar.

Cumhdach CVD SiC: Fástar ciseal cosanta cairbíde sileacain (SiC) dlúth, saor ó strus ar dhromchla na graifíte trí theicneolaíocht chun cinn Ceimiceach Taiscí Gaile (CVD).

Cén fáth a bhfuil VETEK mar do Ráthaíocht Toradh

Beachtas Deiridh i Rialú Comhionannas Teirmeach: Murab ionann agus iompróirí traidisiúnta, baineann susceptors VETEK aistriú teasa an-shioncrónaithe amach ar fud an dromchla iomlán trí rialú cruinneas nanaiméadar ar thiús sciath agus ar fhriotaíocht theirmeach. Laghdaíonn an bhainistíocht theirmeach sofaisticiúil seo go héifeachtach an diall caighdeánach tonnfhad (STD) ar an dromchla sliseog, rud a chuireann go mór le cáilíocht aon-wafer agus comhsheasmhacht iomlán an bhaisc araon.

Cosaint Fadtéarmach le Éilliú Cáithníneach nialasach: I ndlísheomraí imoibrithe MOCVD ina bhfuil gáis an-chreimneach, bíonn seans maith ag scealpadh na gcáithníní ag peadaidí graifíte gnáth. Tá táimhe ceimiceach eisceachtúil ag sciath CVD SiC VETEK, ag gníomhú mar shciath do-thruaillithe a shéalaíonn micreapóir graifíte. Cinntíonn sé seo leithlisiú iomlán na n-eisíontais tsubstráit, rud a chosc aon éilliú ar na sraitheanna epitaxial GaN nó SiC.

Friotaíocht Eisceachtúil Tuirse agus Saol Seirbhíse:A bhuí le próiseas cóireála comhéadain dílseánaigh VETEK, baineann ár sciath SiC amach meaitseáil leathnaithe teirmeach optamaithe leis an tsubstráit graifíte. Fiú amháin faoi rothaíocht teirmeach ard-minicíochta idir teochtaí foircneacha, coinníonn an sciath greamaitheacht níos fearr gan feannadh nó forbairt micrea-scoilteanna. Laghdaíonn sé seo go mór minicíocht cothabhála páirteanna breise agus íslíonn sé do chostas iomlán úinéireachta.

Ár gceardlann