Tionscal	Déantúsaíocht leathsheoltóra, ardcheirmeacht, ábhair leathsheoltóra tríú glúin
Próiseas	Léasair Treoraithe Scaird Uisce (WJGL) meaisínithe aon-pas tríd an bpoll
Réiteach	Foshraitheanna SiC saincheaptha 35mm × 2mm le micrea-phoill cruinneas Φ0.15mm
Seirbhísí	Comhairliúchán teicniúil, forbairt próisis, tuarascálacha cigireachta, sciath agus meaisínithe saincheaptha
Torthaí	• Geoiméadracht poll aonfhoirmeach ó inlet go asraon deimhnithe ag SEM • Gan barrchaolú intomhaiste; cóimheas gné oiriúnach do thiús 2mm • Íos-chrios a bhfuil tionchar ag teas air agus beagnach gan aon chipping ar SIC crua-bhriste • Seachadadh rathúil agus glacadh custaiméirí d'fhorbairt ábhar ceallraí tánaisteach

Fíor 1: grianghraf táirge de shubstráit SiC 35mm × 2mm tar éis meaisínithe micrea-poll léasair uisce-treoraithe

Fíor2：Íomhá SEM de léasair uisce-treoraithe VeTek poll Φ0.15mm i bhfoshraith SiC

Cuireann teicneolaíocht léasair uisce-treoraithe VeTek Semiconductor (WJGL) ar chumas meaisínithe micrea-poll aon-pas, gan barrchaolú i bhfoshraitheanna tiubh de chomhdhúile sileacain (SiC). I dtionscadal le déanaí, próiseáladh trí-phoill Φ0.15 mm go rathúil ar fhoshraitheanna 35 mm trastomhas × 2 mm tiubh N-cineál 4H-SiC. D'fhíoraigh cigireacht SEM ballaí poll an-aonfhoirmeach ó inlet go asraon, ag comhlíonadh dianriachtanais grád leathsheoltóra.

1. Conas a Bhaineann Léasair Uisce-Treoraithe Poill SiC Gan Téipéar amach?

Fíor3:Prionsabal an léasair uisce-threoraithe: fuinneamh léasair teoranta ag microjet uisce ardbhrú (snáithín optúil uisce)

Cuirtear iallach ar uisce ardbhrú trí bhuaic bheachtais (trastomhas 30–120 µm) chun micrea-scairde cobhsaí a dhéanamh. Déantar léasair dhírithe 532 nm a chúpláil leis an scaird seo trí fhuinneog ghloine. Nuair a bheidh sé laistigh den cholún uisce, tá an léasair teoranta ag machnamh inmheánach iomlán agus taistealaíonn sé mar "snáithín optúil uisce ard-fhuinnimh." Nuair a théann an microjet i dteagmháil leis an bpíosa oibre, ablasann an léasair an t-ábhar agus fuaraíonn an sreabhadh uisce leanúnach an crios gearrtha agus flushes smionagar.

Toisc gur colún sorcóireach de thrastomhas tairiseach é an meán treorach, fanann an fuinneamh léasair atá ag teacht chun cinn comhthreomhar thar achar oibre roinnt mílte milliméadar. Dá bhrí sin, fanann an balla gearrtha ingearach fiú ar 2 mm (agus suas le 60 mm) SiC tiubh, rud a chuireann deireadh leis an ngá atá le rianú fócas agus cosc ​​a chur ar an taper atá le feiceáil i druileáil léasair saor-spás.

Fíor 4: Grianghraf iarbhír den radharc oibre léasair uisce-treoraithe

Buntáistí Próisis Buntábhachtacha d'Ábhair Crua-Brittle

• Níl gá le coigeartú fócais le haghaidh tiús suas le 60 mm

• taper nialasach nó gar-náid (difríocht ionraoin-go-amach 10-20 µm)

• Sochtann fuarú leanúnach strus teirmeach agus chipping imeall

• Laghdaíonn dáileadh aonfhoirmeach fuinnimh trasna na trasghearrtha scaird gairbhe an dromchla (Ra 0.3–1 µm)

• Leithead Kerf chomh caol le 50 µm, ag íoslaghdú caillteanas ábhar ar SiC daor

2. Buntáistí Léasair Uisce-Treoraithe i bPróiseáil Ceirmeach Leathsheoltóra

Fíor5. Trealamh léasair uisce-threoraithe VeTek (sraith WL)

Is minic a bhíonn druileáil meicniúil traidisiúnta de phoill Φ0.15 mm i 2 mm SiC ag fulaingt ó bhriseadh uirlisí, briste imeall agus éagsúlacht trastomhais forásach. Cruthaíonn druileáil léasair saor-spáis, cé go bhfuil sé neamhtheagmhála, criosanna a bhfuil tionchar teasa orthu, sraitheanna athmhúnlaithe agus barrchaolú suntasach. Sáraíonn léasair uisce-threoraithe an dá shraith teorann:

1. Cumas aon-pas trí-poll– cuireann sé deireadh leis na hearráidí ailínithe a bhaineann le próiseáil dhá thaobh.

2. Cóimheas gné ard– baintear amach cóimheasa ar mó iad ná 30:1 go rialta.

3. Fórsa meicniúil ultra-íseal– níl ach ~1 N ag scairdfhórsa uisce, rud a cheadaíonn próiseáil shábháilte ar sliseog ultra-tanaí nó sobhriste.

4. Dromchlaí glan, saor ó shlaig– baintear smionagar de bharr sruthlú leanúnach agus cuireann sé cosc ​​ar athshíleáil.

3. Feidhmchláir Léasair Uisce-Treoraithe do Mhicreascóip Ardghné-Choibhneasa i SiC

Fíor6. Comhpháirteanna ceirmeacha beachtais arna bpróiseáil ag léasair uisce-threoraithe

Áirítear ar chumais tipiciúla:

• Raon tiús próiseála: 0.05-60 mm (SiC, criadóireacht chomhdhúile bórón)

• Cró íosta: 0.1 mm (ag brath ar thiús)

• Cruinneas toisí: ±0.01 mm

• Garbhacht an dromchla: 0.3–1 µm

• Ardáin trealaimh: WL-DCS200 (limistéar oibre 200 × 240 mm, 50-60 W) agus WL-LCS500 (500 × 500 mm, 100-200 W)

Fíor7Fíorú SEM do chustaiméirí ar thrépholl aonfhoirmeach Φ0.15mm ón inlet go dtí an t-asraon i bhfoshraith SiC 2mm

Fianaise Tionscadail: Φ0.15 mm Poll ar 2 mm SiC

I gcomhar le comhpháirtí teicneolaíochta Cóiré, sheachaid VeTek cúig fhoshraitheanna 35 mm trastomhas, 2 mm tiubh de chineál N-cineál 4H-SiC gach ceann acu ina raibh trí-pholl cruinneas Φ0.15 mm. Dhearbhaigh anailís SEM a rinne an custaiméir deiridh gur choinnigh an poll nozzle cruth sorcóireach aonfhoirmeach ón taobh iontrála léasair go dtí an taobh scoir. Glacadh leis na codanna le haghaidh meastóireachta i bhforbairt ábhar anóid sileacain-chóimhiotail le haghaidh cadhnraí litiam-ian den chéad ghlúin eile.

4. CCanna

C1: An féidir le poill a phróiseáil léasair uisce-treoraithe níos lú ná Φ0.15 mm i 2 mm SiC?

A: Maidir le crónna atá go mór faoi bhun 0.15 mm ar thiús 2 mm ardaíonn an deacracht theicniúil go géar. Moltar poill níos lú (m.sh., 0.06 mm) ar fhoshraitheanna níos tanaí (≤0.4 mm) chun toradh agus geoiméadracht a choinneáil.

C2: An bhfuil an próiseas fíor aon-pas?

A: Tá. Iomadaíonn an léas uisce-scaird-threoraithe tríd an tiús iomlán in oibríocht leanúnach amháin, rud a chuireann deireadh leis an mbaol mí-ailínithe a bhaineann le druileáil tosaigh agus cúl.

C3: Cad iad na sonraí cigireachta is féidir a sholáthar?

A: Soláthraítear tuarascálacha tomhais toisí, íomhánna optúla agus SEM de thrasghearradh an phoill, agus sonraí roughness dromchla le gach baisc. Fanann físeáin próisis iomlána faoi rún ach tá fíorú céimseata samplach caighdeánach.

5. Conclúid

Tairgeann teicneolaíocht léasair uisce-treoraithe ó VeTek Semiconductor bealach iontaofa, ard-toraidh chuig micrea-ghnéithe beachtas in ábhair leathsheoltóra crua agus brittle. Cibé an bhfuil foshraitheanna SiC saincheaptha uait le micrea-phoill, comhpháirteanna ceirmeacha le haghaidh trealamh próisis, nó bratuithe CVD SiC / TaC chun cinn, tá ár bhfoireann innealtóireachta réidh chun tacú le do chéad tionscadal eile.

Déan iniúchadh ar árRéitigh sciath SiC le haghaidh tuilleadh sonraí teicniúla, nó déan teagmháil linn chun do riachtanais meaisínithe ar leith a phlé.