Nítríde Alúmanam (AlN) Chuck Leictreastatach Ceirmeach

1.Buntáistí

• Ceirmeach AlN ard-íonachta le seoltacht teirmeach suas le ~ 180 W/m·K le haghaidh aistriú teasa éifeachtach agus aonfhoirmeacht teochta

• Insliú láidir leictreach agus friotachas ardtoirte a thacaíonn le clampáil chobhsaí ag 1–3 kV (voltas níos airde ar fáil)

• Ábhair ciseal tréleictreach saincheaptha agus leagan amach leictreoidí: Coulomb nó Johnsen-Rahbek (JR); singil nó il-chrios

• Feidhmíocht clampála tapa agus dí-chlamp, go hiondúil faoi 0.1 soicind

• Microstruchtúir dimple dromchla síos go dtí trastomhas ~ 300 μm, ag laghdú achar teagmhála chomh híseal le ~ 1%

• Cumas maoile ard; maoile tipiciúil domhanda ar ord 0.5–3 μm PV le haghaidh ardáin ranga 300 mm

• Micreastruchtúr dlúth le hionsú uisce gar-nialas agus friotaíocht maith ceimiceach le haghaidh timpeallachtaí próisis

2.Feidhmchláir tipiciúla

Úsáidtear Chucks Leictreastatacha Ceirmeacha Nítríde Alúmanam i gcéimeanna próisis a éilíonn coinneáil wafer slán agus iompar teirmeach rialaithe:

• etch plasma tirim (ICP / RIE) agus próisis ghaolmhara aireagail

• CVD, PEALD, teirmeach ALD, agus céimeanna eile sil-scannán tanaí

• Modúil próisis annealing agus teirmeach a éilíonn teocht aonfhoirmeach wafer

• Céimeanna iniúchta, méadreolaíochta, agus beachtas ina bhfuil clampáil ísealcháithníneach agus cobhsaí ríthábhachtach

3.Gráid Ábhar AlN – Airíonna tipiciúla

Tairgeann VeTek gráid éagsúla Nítríde Alúmanam chun seoltacht teirmeach, neart meicniúil, agus costas dearaí ESC a chothromú:

Aonaid: Seoltacht theirmeach i W/(m·K); neart tréleictreach i kV/mm; friotachas toirte ina Ω·cm (25 °C); tairiseach tréleictreach ag 1 MHz. Is gnách luachanna agus d’fhéadfadh go n-athróidh siad de réir céimseata próisis agus páirteanna.

4.Paraiméadair Deartha tipiciúla ESC

5.Cén fáth Choose VeTek AlN Chucks Leictreastatach?

Comhtháthaíonn VeTek Semiconductor criadóireacht AlN chun cinn le déantúsaíocht ESC beachtas do chustaiméirí leathsheoltóra a bhfuil feidhmíocht theirmeach agus clampáil iontaofa de dhíth orthu:

• Ilghráid AlN le seoltacht theirmeach ó ~90 go ~180 W/m·K chun buiséid teirmeach próisis a mheaitseáil

• Leictreoid solúbtha agus dearadh tréleictreach le haghaidh iompar clampála Coulomb nó JR

• Rialú daingean ar Maoile, ar mhicreastruchtúr dromchla, agus ar fheidhmíocht inslithe leictreach

• Tacaíocht saolré iomlán: dearadh, tógáil nua, agus athchóiriú il-leibhéil

Le haghaidh eitse, teistíocht, agus uirlisí teirmeacha a bhraitheann ar theocht aonfhoirmeach wafer agus ar chlampáil ghlan, in-athdhéanta, soláthraíonn VeTek Chucks Leictreastatach Ceirmeacha Nítríde Alúmanam VeTek ardán ceirmeach ardfheidhmíochta le tacaíocht innealtóireachta atá dírithe ar iarratais.