Sileacain ar shliocht inslitheoir

Prionsabal oibre naSé leathsheoltóra’SSileacain ar shliocht inslitheoirDen chuid is mó braitheann sé ar a struchtúr uathúil agus a airíonna ábhartha. Is Sliseog sooiTá trí shraith ann: Is ciseal feiste sileacain aon-chriostal é an ciseal barr, is ciseal ocsaíd inslithe (bosca) inslithe é an lár, agus is foshraith sileacain tacaíochta é an ciseal bun.

Struchtúr sileacain ar sliseoga inslitheoirí (SOI)

Foirmiú an chiseal inslithe: Is iondúil go ndéantar silicon ar shliocht inslithe ag baint úsáide as teicneolaíocht Smart Cut ™ nó SIMOX (deighilt trí ocsaigin ionchlannaithe). Insíonn teicneolaíocht Smart Cut ™ ian hidrigine isteach sa sliseog sileacain chun ciseal mboilgeog a dhéanamh, agus ansin déanann sé an sliseog instealladh hidrigine a cheangal leis an sileacain tacaíochtaslisead. 

Tar éis cóireála teasa, tá an sliseog insteallta hidrigine roinnte ón gciseal mboilgeog chun struchtúr SOI a dhéanamh.Teicneolaíocht SimoxIonchlannáin ian ocsaigine ardfhuinnimh i sliseoga sileacain chun ciseal ocsaíd sileacain a dhéanamh ag teochtaí arda.

Toilleas seadánach a laghdú: Ciseal bosca anSliseog cairbíde sileacainDéanann sé ciseal na feiste agus an bonn sileacain a aonrú go héifeachtach, laghdaíonn sé go mórg toilleas seadánach. Laghdaíonn an leithlisiú seo tomhaltas cumhachta agus méadaíonn sé luas agus feidhmíocht na bhfeistí.

Seachain éifeachtaí latch-up: Na feistí N-Well agus P-Well saSliseog sooitá siad scoite amach go hiomlán, ag seachaint an éifeacht laiste i struchtúir thraidisiúnta CMOS. Ceadaíonn sé seoWafer Soi le monarú ag luasanna níos airde.

Feidhm stad etch: AnCiseal feiste sileacain criostail aonairagus éascaíonn struchtúr ciseal na mboscaí de shliocht SOI monarú MEMS agus feistí optoelectronic, ag soláthar feidhm stad den scoth.

Trí na tréithe seo,Sileacain ar shliocht inslitheoirTá ról tábhachtach aige i bpróiseáil leathsheoltóra agus cuireann sé chun cinn forbairt leanúnach an chiorcaid chomhtháite (IC) agusCórais Microelectromechanical (MEMS)tionscail. Táimid ag tnúth go mór le tuilleadh cumarsáide agus comhoibrithe leat.

An paraiméadar sonraíochta Sol 200mm Sol:

Silicon ar shiopaí táirgthe sliseoga inslitheoirí: