Bun an bhailitheora sciath sic

Tá Vetek Semiconductor ina mhonaróir atá tiomanta do ardchaighdeán a sholátharSciath CVD TACagus CVD SIC COTHING COTHANTÓIR BOTTING AGUS OIBRÍOCHT LE TREALAMH AIXTRON chun freastal ar riachtanais ár gcustaiméirí. Cibé acu i leas iomlán a bhaint as próisis nó i bhforbairt táirgí nua, táimid réidh chun tacaíocht theicniúil a sholáthar duit agus aon cheisteanna atá agat a fhreagairt.

Feidhm lárnach an táirge

Ráthaíocht cobhsaíochta próisis

Rialú grádán teochta: ±1.5℃/cm@1200℃

Optamú réimse sreafa: Déanann dearadh an chainéil speisialta aonfhoirmeacht dáileacháin an gháis imoibriúcháin suas le 92.6%

Meicníocht um chosaint trealaimh

Cosaint Dé:

Maolán turraing teirmeach: Athraigh athrú tapa teochta 10 ℃/s

Idircheapadh na gcáithníní: Gaiste> cáithníní dríodair 0.3μm

I réimse na teicneolaíochta ceannródaíocha

Rialú cáilíochta an phróisis iomláin

Córas inrianaitheachta táirgthe

Foinse na n -amhábhar: Graifít Tokai/Toyo ón tSeapáin, SGL Graphite ón nGearmáin

Monatóireacht Digiteach Digiteach: Déantar gach comhpháirt a mheaitseáil le bunachar sonraí paraiméadair próisis neamhspleách

Cás Iarratais:

Déantúsaíocht leathsheoltóra tríú glúin

Cás: Fás Epitaxial 6-orlach SIC (rialú tiús 100-150μm)

Samhail Chomhoiriúnach: Aixtron G5 WW/Crius II

Trí úsáid a bhaint as AIXTRON SIC CLÁRTHA COMHLACHTAÍ, IONAD BALLINE AGUS BAILE SIC Brataithe, Bainistíocht Teirmeach agus Cosaint Cheimiceach i bpróisis mhonaraithe leathsheoltóra is féidir a bhaint amach, is féidir an timpeallacht fáis scannán a bharrfheabhsú, agus is féidir cáilíocht agus comhsheasmhacht an scannáin a fheabhsú. Cinntíonn meascán na gcomhpháirteanna seo i dtrealamh Aixtron coinníollacha próisis chobhsaí agus táirgeadh leathsheoltóra éifeachtach.

Sonraí SEM de Scannán CVD SIC