Pláta dáilte gáis Grianchloch

Is comhpháirteanna criticiúla iad na plátaí dáilte gáis Grianchloch, ar a dtugtar cithfholcadh Grianchloch freisin, i monarú leathsheoltóra. Agus an íonacht eisceachtúil, an fhriotaíocht ardteochta, agus friotaíocht creimthe Grianchloch a ghiaráil, cinntíonn na plátaí seo sreabhadh aonfhoirmeach agus cobhsaí gáis phróisis ar dhromchla an tsliocht. Tá an seachadadh beacht seo riachtanach chun cáilíocht agus aonfhoirmeacht na scannán taiscthe nó gnéithe eitseáilte a choinneáil.

Príomhghnéithe de Grianchloch comhleáite ard-íonachta

● Ábhar: 99.99%Grianchloch comhleáite ard-íonachta

● Friotaíocht ardteochta: Seasann sé le teochtaí os cionn 1000 ℃

● Friotaíocht creimthe: Marthanacht den scoth i gcoinne gáis phróisis agus timpeallachtaí plasma

● Sreabhadh gáis beacht: Dáileadh micrea-phoill aonfhoirmeach le haghaidh seachadadh gáis is fearr agus aonfhoirmeacht sil-leagan

● Dearadh saincheaptha: Is féidir méid, patrún poll, agus gnéithe gléasta a chur in oiriúint do mhúnlaí trealaimh ar leith

Croí -róil i ndéantúsaíocht leathsheoltóra

1. Sil -leagan gaile fisiciúil (PVD) & sil -leagan gaile ceimiceach (CVD)

Ról.

Úsáidí sonracha:

● Rialú aonfhoirmeachta: Cinntíonn micrea-phoill a ndearnadh innealtóireacht beacht orthu go bhfuil an sreabhadh gáis agus an tiúchan aonfhoirmeach ar fud dhromchla iomlán an tsleachta. Tá sé seo ríthábhachtach chun scannáin a thaisceadh le tiús agus feidhmíocht chomhsheasmhach.

● Cosc ar éilliú: Cuireann íonacht ard Grianchloch cosc ​​ar an bpláta freagairt le gáis phróisis nó eisíontais a scaoileadh. Coinníonn sé seo íonacht an scannáin agus cuireann sé cosc ​​ar lochtanna ar dhromchla an tsleasa.

2. Sil-leagan gaile ceimiceach feabhsaithe plasma (PECVD)

Ról: I PECVD, ní hamháin go seachadann an cithfholcadh Grianchloch gáis imoibríocha ach feidhmíonn sé freisin mar leictreoid do ghiniúint plasma.

Úsáidí sonracha:

● Adhaint plasma: Is iondúil go mbíonn an ceann cith ceangailte le foinse cumhachta raidió (RF) chun plasma a ghiniúint. Cuireann cáithníní ardfhuinnimh laistigh den phlasma dianscaoileadh na n-imoibreoirí gásacha chun cinn, rud a chuireann ar chumas sil-leagan scannán ag teochtaí níos ísle.

● Cobhsaíocht theirmeach: Taispeánann Grianchloch cobhsaíocht theirmeach den scoth, rud a ligeann dó an timpeallacht plasma ardteochta a sheasamh. Cuidíonn sé seo le teocht aonfhoirmeach a choinneáil laistigh de sheomra an phróisis, rud a chinntíonn cáilíocht agus comhsheasmhacht scannáin a thuilleadh.

3. Eitseáil tirim

Ról.

Úsáidí sonracha:

● Aonfhoirmeacht Etch: Cinntíonn an pláta sreabhadh aonfhoirmeach agus tiúchan na ngás etch, a ráthaíonn doimhneacht agus próifíl chomhsheasmhach ar fud an sliseog ar fad. Tá sé seo ríthábhachtach chun na patrúin bheachta a theastaíonn le haghaidh feistí leathsheoltóra ardleibhéil a bhaint amach.

● Friotaíocht creimthe: Tá ábhar buan ag teastáil ó airíonna creimneacha láidre na ngás etch. Leathnaíonn friotaíocht ard creimthe Quartz saolré an chithfholcadáin agus laghdaíonn sé an baol go gcuirfí isteach ar phróisis.

4. Glanadh sliseog

Ról: I bpróisis glantacháin sliseog ar leith, úsáidtear pláta dáilte gáis Grianchloch chun gáis glantacháin a sheachadadh (m.sh., ózón, amóinia) go haonfhoirmeach chuig dromchla an tsleasa chun iarmhair nó éillithe a bhaint.

Úsáidí sonracha:

● Glanadh comhsheasmhach: Cinntíonn an pláta go sroicheann glanadh gáis gach cuid den sliseog, rud a chuireann ar a gcumas próiseas glantacháin críochnúil agus aonfhoirmeach a chumasú.

● Comhoiriúnacht cheimiceach: Cuireann comhoiriúnacht Grianchloch le raon leathan ceimiceán glantacháin cosc ​​ar fhrithghníomhartha agus coinníonn sé íonacht agus éifeachtúlacht an phróisis glantacháin.