Sciath & Comhla Grianchloch Teimhneach Ard-íonachta Do MOCVD

1. Sonraíochtaí Teicniúla

Soláthraímid meaisínithe ardchruinneas bunaithe ar do líníochtaí teicniúla chun a chinntiú go bhfuil sé oiriúnach go foirfe le do mhúnlaí trealaimh ar leith.

2. Réimsí Croí Iarratais

● Cosaint Próisis MOCVD: Feidhmíonn sé mar sciatha/línéir inmheánacha riachtanacha chun an timpeallacht imoibrithe a chosaint.

● Epitaxy leathsheoltóra: Úsáidtear mar chomhlaí ardchruinneas le haghaidh sreabhadh agus cobhsú teochta le linn fáis scannáin tanaí.

● Déantúsaíocht Leathsheoltóra Leathanbhanda: Ag luí le timpeallachtaí ard-éilimh do GaN agus ábhair chun cinn eile.

3. Cén fáth Roghnaigh Réitigh Grianchloch VETEK?

● Sárbhainistiú Radaíochta Teirmeach: Tá ard-dlús micrea-bhoilgeoga inár Grianchloch Bó Finne a scaipeann go héifeachtach agus a chuireann bac ar radaíocht theirmeach ardteochta (> 1000 ° C). Ionsúnn sé solas infheicthe agus gar-infridhearg ó eilimintí téimh agus athraíonn sé isteach i radaíocht i bhfad-infridhearg, ag cinntiú téamh an-aonfhoirmeach.
● Rialú Éillithe & Cothabháil Éasca: Mar línéar istigh íobartach nó in-athsholáthair, coimeádann an Sciath Grianchloch an seomra imoibrithe glan trí thaisceadh seachtháirge a chosc ar bhallaí agus téitheoirí seomra daor. Is féidir na codanna seo a athghiniúint trí ghlanadh fliuch (cosúil le réitigh SPM+DHF) nó iad a athsholáthar go héasca chun táirgeacht ard wafer a chinntiú.
● Frithsheasmhacht Cheimiceach Foircní: Déantar Grianchloch VETEK a innealtóireacht chun rothlú teirmeach minic a sheasamh agus chun creimeadh ó mhiotail orgánacha (cosúil le TMga) agus hidrídí (cosúil le Ash₃) a sheasamh.
● Rialú Próiseas Beachtais: Coinníonn ár Comhlaí Grianchloch cobhsaíocht ardtoiseach faoi théamh infridhearg nó filiméid. Ceadaíonn a táimhe íseal teirmeach freagra meicniúil tapa, rud a chumasaíonn rialú beacht ar fhás "leibhéal adamhach" agus cosc ​​a chur ar thras-éilliú le linn lascadh il-wafer nó ilphróisis.
● Rogha eile atá éifeachtach ó thaobh costais de: I gcás tionscadal a bhfuil riachtanais bhuiséid dhian acu, soláthraíonn ár dtáirgí grianchloch pointe iontrála iontaofa i gcomparáid le graifít brataithe, ag tairiscint cosaint riachtanach agus feidhmiúlacht do chórais MOCVD.