Cosantóir Cumhdach CVD SIC

Suíomh Táirgí agus Croí -Fheidhmeanna ：

Tá cosantóir sciath SIC CVD ina phríomhghné i dtrealamh eipidéimeach carbide sileacain LPE, a úsáidtear go príomha chun struchtúr inmheánach an tseomra imoibriúcháin a chosaint agus chun cobhsaíocht an phróisis a fheabhsú. I measc na bpríomhfheidhmeanna atá aige tá:

Cosaint creimthe: Is féidir leis an gclúdach cairbíde sileacain a fhoirmíonn an próiseas sil -leagan gaile ceimiceach (CVD) cur in aghaidh creimeadh ceimiceach plasma clóirín/fluairín agus tá sé oiriúnach do thimpeallachtaí géara amhail trealamh eitseáil;

Bainistíocht theirmeach: Is féidir le seoltacht ard teirmeach ábhair cairbíde sileacain an aonfhoirmeacht teochta sa seomra imoibriúcháin a bharrfheabhsú agus caighdeán an chiseal eipiciúil a fheabhsú;

Truailliú a laghdú: Mar chomhpháirt líneáil, is féidir leis cosc ​​a chur ar na seachtháirgí imoibriú dul i dteagmháil go díreach leis an seomra agus an timthriall cothabhála trealaimh a leathnú.

Saintréithe Teicniúla agus Dearadh:

Dearadh Struchtúrach:

De ghnáth roinnte i gcodanna leath-ghealach uachtaracha agus íochtaracha, suiteáilte go siméadrach timpeall an tráidire chun struchtúr cosanta fáinne a dhéanamh;

Comhoibriú le comhpháirteanna ar nós tráidirí agus cinn cithfholctha gáis chun dáileadh aeir agus éifeachtaí dírithe plasma a bharrfheabhsú.

Próiseas brataithe:

Úsáidtear an modh CVD chun bratuithe SIC ard-íonachta a thaisceadh, le haonfhoirmeacht tiús scannáin laistigh de ± 5% agus garness dromchla chomh híseal le Ra≤0.5μm;

Is é an tiús tipiciúil sciath ná 100-300μm, agus is féidir leis timpeallacht ardteochta de 1600 ℃ a sheasamh.

Cásanna Iarratais agus Buntáistí Feidhmíochta ：

Trealamh infheidhme:

A úsáidtear den chuid is mó le haghaidh foirnéise epitaxial cairbíde sileacain 6-orlach LPE, ag tacú le fás homaighnéasach SIC;

Oiriúnach do threalamh eitseáil, trealamh MOCVD agus cásanna eile a dteastaíonn friotaíocht ard creimthe uathu.

Príomhtháscairí:

Comhéifeacht leathnaithe teirmeach: 4.5 × 10⁻⁶/k (meaitseáil le foshraith graifíte chun strus teirmeach a laghdú);

Friotaíocht: 0.1-10Ω · cm (riachtanais seoltachta a chomhlíonadh);

Saol na Seirbhíse: 3-5 huaire níos faide ná ábhair thraidisiúnta Grianchloch/sileacain.

Bacainní agus dúshláin theicniúla

Ní mór don táirge seo deacrachtaí próisis a shárú, mar shampla rialú aonfhoirmeachta brataithe (mar chúiteamh tiús imeall) agus leas iomlán a bhaint as comhéadan comhéadan (≥30MPA), agus ag an am céanna ní mór dóibh an uainíocht ardluais (1000rpm) agus riachtanais ghrádáin teochta an trealaimh LPE a mheaitseáil.