Nuacht

Is ábhair iad nana-ábhar cairbíde sileacain (SIC) le toise amháin ar a laghad ag an scála nanaiméadar (1-100Nm). Is féidir leis na hábhair seo a bheith nialas, aon-, dhá, nó tríthoiseach agus feidhmchláir éagsúla a bheith acu.

Is ábhar carbide sileacain ard-íonachta é CVD SIC a mhonaraítear trí sil-leagan gaile ceimiceach. Úsáidtear é go príomha le haghaidh comhpháirteanna agus bratuithe éagsúla i dtrealamh próiseála leathsheoltóra. Is é an t -ábhar seo a leanas réamhrá ar aicmiú táirgí agus croífheidhmeanna CVD SIC

Tugann an t -alt seo na cineálacha táirgí, tréithe táirge agus príomhfheidhmeanna sciath TAC isteach go príomha i bpróiseáil leathsheoltóra, agus déanann sé anailís chuimsitheach agus léirmhíniú ar tháirgí sciath TAC ina n -iomláine.

Tugann an t -airteagal seo isteach go príomha na cineálacha táirgí, tréithe táirge agus príomhfheidhmeanna an tso -ghabhálaí MOCVD i bpróiseáil leathsheoltóra, agus déanann sé anailís agus léirmhíniú cuimsitheach ar tháirgí so -ghabhála MOCVD ina n -iomláine.

Ní hamháin gur cuid athsholáthair taobh istigh de chóras epitaxy é susceptor graifíte SiC brataithe le haghaidh ASM. Is iompróir próiseas-chriticiúil é a mbíonn tionchar aige ar aonfhoirmeacht theirmeach, glaineacht wafer, marthanacht sciath, cobhsaíocht an tseomra, agus costas táirgthe fadtéarmach.

Ní clúdach cosanta nó comhpháirt graifíte brataithe amháin atá i gClúdach Cumhdach CVD TaC. I bpróisis leathsheoltóra ardteochta, féadann sé tionchar a imirt ar ghlaineacht an tseomra, ar chobhsaíocht theirmeach, ar shaolré na bpáirtithe, agus ar chomhsheasmhacht an phróisis.