Nuacht

Is é an príomhdhifríocht idir sil -leagan epitaxy agus sil -leagan adamhach (ALD) ná a meicníochtaí fáis scannáin agus a gcoinníollacha oibriúcháin. Tagraíonn Epitaxy don phróiseas chun scannán tanaí criostalach a fhás ar fhoshraith chriostalach le caidreamh treoshuímh ar leith, ag cothabháil an struchtúir chriostal chéanna nó den chineál céanna. I gcodarsnacht leis sin, is teicníc sil -leagain é ALD a bhaineann le foshraith a nochtadh do réamhtheachtaithe ceimiceacha éagsúla i seicheamh chun ciseal adamhach scannán tanaí a dhéanamh ag an am.

Is próiseas é sciath CVD TAC chun sciath dlúth agus durable a chruthú ar fhoshraith (graifít). Is éard atá i gceist leis an modh seo ná TAC a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ag teochtaí arda, agus mar thoradh air sin tá sciath cairbíde tantalum (TAC) le cobhsaíocht theirmeach den scoth agus friotaíocht cheimiceach.

De réir mar a aibíonn an próiseas chomhdhúile sileacain 8-orlach (SiC), tá na monaróirí ag luasghéarú an aistrithe ó 6-orlach go 8-orlach. Le déanaí, d'fhógair ON Semiconductor agus Resonac nuashonruithe ar tháirgeadh SiC 8-orlach.

Tugann an t-alt seo isteach na forbairtí is déanaí in imoibreoir CVD balla te PE1O8 nua-dheartha na cuideachta Iodálach LPE agus a chumas epitaxy aonfhoirmeach 4H-SiC a dhéanamh ar 200mm SiC.