Tús an tionscail

Tugann an t -airteagal seo isteach go príomha na cineálacha táirgí, tréithe táirge agus príomhfheidhmeanna an tso -ghabhálaí MOCVD i bpróiseáil leathsheoltóra, agus déanann sé anailís agus léirmhíniú cuimsitheach ar tháirgí so -ghabhála MOCVD ina n -iomláine.

Sa tionscal déantúsaíochta leathsheoltóra, de réir mar a leanann méid na bhfeistí ag laghdú, tá dúshláin gan fasach ag baint le teicneolaíocht sil -leagain na n -ábhar scannán tanaí. Tá sil -leagan ciseal adamhach (ALD), mar theicneolaíocht sil -leagan tanaí scannáin ar féidir léi rialú beacht a bhaint amach ag an leibhéal adamhach, mar chuid fíor -riachtanach de dhéantúsaíocht leathsheoltóra. Tá sé mar aidhm ag an airteagal seo sreabhadh agus prionsabail ALD a thabhairt isteach chun cabhrú le tuiscint a fháil ar a ról tábhachtach i ndéantúsaíocht sliseanna ardleibhéil.

Tá sé oiriúnach ciorcaid chomhtháite nó feistí leathsheoltóra a thógáil ar chiseal bonn criostalach foirfe. Tá sé mar aidhm ag an bpróiseas epitaxy (EPI) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ciseal breá aonchriostalach a thaisceadh, de ghnáth thart ar 0.5 go 20 miocrón, ar fhoshraith aonchriostalach. Is céim thábhachtach é an próiseas epitaxy maidir le feistí leathsheoltóra a mhonarú, go háirithe i ndéantúsaíocht sliseog sileacain.

Is é an príomhdhifríocht idir sil -leagan epitaxy agus sil -leagan adamhach (ALD) ná a meicníochtaí fáis scannáin agus a gcoinníollacha oibriúcháin. Tagraíonn Epitaxy don phróiseas chun scannán tanaí criostalach a fhás ar fhoshraith chriostalach le caidreamh treoshuímh ar leith, ag cothabháil an struchtúir chriostal chéanna nó den chineál céanna. I gcodarsnacht leis sin, is teicníc sil -leagain é ALD a bhaineann le foshraith a nochtadh do réamhtheachtaithe ceimiceacha éagsúla i seicheamh chun ciseal adamhach scannán tanaí a dhéanamh ag an am.