Susceptor Brataithe CVD TaC

Sainmhíniú agus Comhdhéanamh Táirge

Is comhpháirt iompróra ard-deireadh é an Susceptor Brataithe VETEK CVD TaC a úsáidtear go sonrach le haghaidh próiseála epitaxial leathsheoltóra tríú glúin (SiC, GaN, AlN). Comhcheanglaíonn an táirge seo na buntáistí fisiceacha a bhaineann le dhá ábhar ardfheidhmíochta:

Foshraith Grafite Ard-íonachta: Úsáidtear próiseas múnlaithe brú isostatach chun a chinntiú go bhfuil neart struchtúrach níos fearr, ard-dlús, agus cobhsaíocht phróiseála teirmeach ag an tsubstráit.

Cumhdach CVD TaC: Déantar ciseal cosanta Tantalum Carbide (TaC) dlúth, saor ó strus a fhás ar dhromchla na graifíte trí theicneolaíocht chun cinn Cheimiceach Taisce Gaile (CVD).

Buntáistí Teicniúla Lárnacha: Inoiriúnaitheacht Fhíor-Chomhshaoil ​​Urghnách

Sa phróiseas MOCVD, ní hamháin go bhfuil an sciath TaC ina chiseal cosanta fisiciúil ach freisin mar chroílár chun in-athráiteacht próisis a chinntiú:

Caoinfhulaingt d'Ardteochtaí Foircní: Tá pointe leá ag TaC chomh hard le 3880 ° C, ag cothabháil cobhsaíocht chruth den scoth fiú i bpróisis epitaxial teocht ultra-ard os cionn 1600 ° C.

Friotaíocht Creimeadh den scoth: I dtimpeallachtaí laghdaithe láidir ina bhfuil NH₃ (Amóinia) nó H₂ (Hidrogen), tá an ráta creimthe TaC thar a bheith íseal, rud a chuireann cosc ​​​​ar chaillteanas foshraithe agus deascadh eisíontais.

Ráthaíocht íonachta Ultra-Ard: Tá an íonacht sciath chomh hard le 99.9995%. Déanann a struchtúr dlúth micropores graifíte a shéaladh go hiomlán, ag cinntiú go sroicheann an scannán epitaxial leibhéil eisíontais thar a bheith íseal.

Dáileadh Réimse Teirmeach Beacht: Cinntíonn teicneolaíocht rialaithe sciath optamaithe VETEK go rialaítear difríocht teocht dromchla an susceptor laistigh de ± 2 ° C, rud a fheabhsaíonn go mór tiús agus comhsheasmhacht tonnfhad na ciseal epitaxial wafer.

Paraiméadair Theicniúla

Bratú chomhdhúile tantalam (TaC) ar thrasghearradh micreascópach:

Lár-Réimsí Feidhmchláir

SiC (Carbide Sileacain) Fás Epitaxial: Tacaíonn sé le táirgeadh feistí cumhachta SiC 6-orlach, 8-orlach, agus méid níos mó.

GaN (Gailliam Nitride) Gléasanna Bunaithe: A úsáidtear i bpróisis MOCVD le haghaidh soilse ard-gile, feistí cumhachta HEMT, agus sceallóga RF.

AlN (Nítríde Alúmanam) agus Fás UVC: Soláthraíonn sé réitigh iompróra foircneacha ardteochta (1400°C+) d’ábhair bhanna-bhanna ultra-leathan ar nós soilse UV domhain.

Tacaíocht Taighde Saincheaptha: In oiriúint do riachtanais shaincheaptha beachtas na n-institiúidí taighde le haghaidh páirteanna neamhrialta éagsúla agus dioscaí ilphoill.

Múnlaí Comhoiriúnacha agus Seirbhísí Saincheaptha

Tá cumais phróiseála agus brataithe meicniúla beachta ag VETEK, a oiriúnú go foirfe do threalamh MOCVD príomhshrutha domhanda:

AIXTRON: Tacaíonn dioscaí agus bunanna rothlú pláinéadacha éagsúla.

Veeco: Tacaíonn K465i, Propel, agus sraith susceptor ingearach eile.

AMEC agus Daoine Eile: Soláthraíonn páirteanna athsholáthair go hiomlán comhoiriúnach nó réitigh uasghrádaithe.