Nuacht

Tá sé oiriúnach ciorcaid chomhtháite nó feistí leathsheoltóra a thógáil ar chiseal bonn criostalach foirfe. Tá sé mar aidhm ag an bpróiseas epitaxy (EPI) i ndéantúsaíocht leathsheoltóra ciseal breá aonchriostalach a thaisceadh, de ghnáth thart ar 0.5 go 20 miocrón, ar fhoshraith aonchriostalach. Is céim thábhachtach é an próiseas epitaxy maidir le feistí leathsheoltóra a mhonarú, go háirithe i ndéantúsaíocht sliseog sileacain.

Is é an príomhdhifríocht idir sil -leagan epitaxy agus sil -leagan adamhach (ALD) ná a meicníochtaí fáis scannáin agus a gcoinníollacha oibriúcháin. Tagraíonn Epitaxy don phróiseas chun scannán tanaí criostalach a fhás ar fhoshraith chriostalach le caidreamh treoshuímh ar leith, ag cothabháil an struchtúir chriostal chéanna nó den chineál céanna. I gcodarsnacht leis sin, is teicníc sil -leagain é ALD a bhaineann le foshraith a nochtadh do réamhtheachtaithe ceimiceacha éagsúla i seicheamh chun ciseal adamhach scannán tanaí a dhéanamh ag an am.

Is próiseas é sciath CVD TAC chun sciath dlúth agus durable a chruthú ar fhoshraith (graifít). Is éard atá i gceist leis an modh seo ná TAC a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ag teochtaí arda, agus mar thoradh air sin tá sciath cairbíde tantalum (TAC) le cobhsaíocht theirmeach den scoth agus friotaíocht cheimiceach.