Tús an tionscail

I measc na dteicneolaíochtaí atá ar fáil, tá foirnéis fás criostail SiC téimh friotaíochta mórmhéide tagtha chun cinn mar réiteach ríthábhachtach chun criostail SiC mór-trastomhas, íseal-locht a tháirgeadh le comhsheasmhacht agus éifeachtúlacht fheabhsaithe. Scrúdaíonn an t-alt seo an chaoi a n-oibríonn an teicneolaíocht seo, na buntáistí a bhaineann léi, a feidhmeanna, agus an fáth a bhfuil muinín ag ceannairí tionscail as réitigh nuálacha ó Veteksemi.

Ní hamháin gur cuid athsholáthair taobh istigh de chóras epitaxy é susceptor graifíte SiC brataithe le haghaidh ASM. Is iompróir próiseas-chriticiúil é a mbíonn tionchar aige ar aonfhoirmeacht theirmeach, glaineacht wafer, marthanacht sciath, cobhsaíocht an tseomra, agus costas táirgthe fadtéarmach.

Ní clúdach cosanta nó comhpháirt graifíte brataithe amháin atá i gClúdach Cumhdach CVD TaC. I bpróisis leathsheoltóra ardteochta, féadann sé tionchar a imirt ar ghlaineacht an tseomra, ar chobhsaíocht theirmeach, ar shaolré na bpáirtithe, agus ar chomhsheasmhacht an phróisis.