8-orlach CVD Carbide Sileacain (SiC) Brataithe Epitaxy Barr Fáinne

Príomhghnéithe Fáinne Epi Top 8 Inch SiC

● Ard-íonacht: 99.9995% íosta. Ní ascnamh miotail isteach sa epi-chiseal. Coinníonn sé seo tiúchan iompróra sliseog san áit ar gá dó a bheith.

● Sochtadh na gcáithníní: Tá struchtúr CVD dlúth. Gan phiocháin. Ní chaillfidh sé cáithníní agus an uirlis á rith. Feiceann monarchana táirgeacht níos fearr ar an mbealach seo.

● Friotaíocht Teasa: Fanann an fáinne cobhsaí ag 1500°C. Ciallaíonn CTE Íseal (leathnú teirmeach) nach mbíonn aon théamh ann le linn timthriallta tapa teasa/fuaraithe.

● Cobhsaíocht Cheimiceach: Seasann an soladach CVD SiC i gcoinne gáis H2 agus HCl. Cuireann sé in aghaidh NH3 freisin. Níl aon bhratú air le craiceann as. Ní dhíghrádaíonn sé i dtimpeallachtaí crua CVD.

● Saol na Comhpháirte: Tá an dromchla thar a bheith crua. Maireann sé glantachán ceimiceach HF/HCl arís agus arís eile. Laghdaíonn sé seo minicíocht athsholáthair. Laghdaíonn sé freisin an costas iomlán úinéireachta don fab.

Sonraíochtaí Teicniúla

Déantar aonfhoirmeacht an tiús sciath idir baisceanna a rialú ag 10um

Feidhmchláir

Úsáidtear fáinne barr epi CVD SiC go forleathan i:

● Imoibreoirí epitaxy sileacain (Si Epi).

● Epitaxy chomhdhúile sileacain (SiC Epi)

● Córais MOCVD

● Trealamh sil-leagan CVD

Péireáilte go coitianta le:

● Suiméirí

● Iompróirí sliseog

● Fáinní preheat

● Imoibreoirí epitaxy

Cén fáth ar Hoose VETEK SiC Epi Top Fáinne?

● Cumas Déantúsaíochta Iomlán: 

Ó íonú amhábhar go meaisínithe beachtas agus sciath CVD, rialaíonn VETEK an próiseas táirgthe iomlán chun cáilíocht chomhsheasmhach grád leathsheoltóra a chinntiú.

● Cruinneas Ard: 

Bainimid úsáid as meaisínithe micron-leibhéal. Tá tiús CVD an-aonfhoirmeach. Déanann sé seo gach fáinne feidhmiú go díreach ar an mbealach céanna.

CCanna

(1) Cad a dhéanann an fáinne barr epi SiC?

Bainistíonn an fáinne sreabhadh teasa agus gáis. Cinntíonn sé go bhfásann an scannán tanaí go cothrom ar fud an wafer.

(2) Cén fáth a bhfuil CVD SiC níos fearr ná graifít?

Tá graifít scagach. Tá pores ag graifít agus scaoileann sé gás. Tá CVD SiC soladach dlúth agus glan. Maireann sé i bhfad níos faide in uirlisí creimneach.

(3). An féidir an fáinne barr SiC 8 orlach a shaincheapadh?

Tá. Tógaimid de réir do líníochtaí uirlisí sonracha. Is féidir linn céimseata a choigeartú bunaithe ar do phróiseas.

(4). Cad iad na tionscail a úsáideann fáinní epitaxy SiC?

Úsáidtear iad go príomha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, lena n-áirítear feistí cumhachta, feistí RF, agus táirgeadh wafer SiC.